2020-08-25
3月26日，北京市科学技术委员会公布了2019年度北京市科学技术奖项目评审结果，万业企业全资子力量体育官网 凯世通的大束流离子注入机装备及工艺研发项目成功斩获科技进步一等奖，这一重大技术突破填补了国产集成电路设备产业链的空白，为集成电路产业高质量发展提供关键动力。
北京市科学技术奖是北京市政府在科技方面的最高奖项，旨在奖励科学界的优秀人士与团体，有利于调动科学技术人员的积极性和创造性，加速城市经济建设和社会发展，是北京科技界最高奖项，此次凯世通的获奖也无疑成为万业转型集成电路领域的助推器。
凯世通是国内唯一一家覆盖光伏、集成电路及AMOLED离子注入机三大类设备的制造企业，离子注入机行业存在较高的行业壁垒，离子注入机是半导体制造工艺中技术最为复杂的设备之一，与光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备被并称为集成电路制造的“四大金刚”。离子注入技术在集成电路产业中得到广泛的应用，因此，收购凯世通是万业切入集成电路领域的重要一步。
通过万业企业集团化运作的不断加持，凯世通自主研发的低能大束流集成电路离子注入机已具备先进制程的低能大束流离子注入整机工艺验证的能力，该力量体育官网 在低能和大束流等核心指标，特别是束流强度指标上，已达到或超过国外同类力量体育官网 ，因此可更好的降低单位成本消耗，满足国内集成电路行业实际应用，未来有望为全球先进制程逻辑、存储、5G射频、摄像头CIS、功率半导体等不同应用领域芯片客户提供离子注入工艺验证服务，大幅提升客户晶圆制造能力与芯片性能。
在万业企业的领导下，凯世通正持续加大对集成电路离子注入机的研发力度，打造出更具创新力与市场竞争性的力量体育官网 。此外，万业企业未来将继续依托国内外双渠道资源力量，以“外延并购+产业整合”双轮驱动模式，“集成电路+产业投资+产业园”三驾马车并驾齐驱前行，全面转型为集成电路高端装备材料龙头，助力国产集成电路的整体发展，致力于将力量体育官网 打造成中国集成电路装备的大国重器。